電子產(chǎn)品用高純石英砂SJ/T 3228.1-2016——第1部分：技術(shù)條件
中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子產(chǎn)品用高純石英砂》第1部分——技術(shù)條件
標(biāo)準(zhǔn)編號：SJ/T 3228.1-2016
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行有效
本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國工業(yè)和信息化部2016年1月15日發(fā)布，2016年6月1是開始實施。
前言
本系列標(biāo)準(zhǔn)計劃分下列部分出版：
——SJ/T 3228.1 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第1部分技術(shù)條件；
——SJ/T 3228.2 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第2部分分析方法通則；
——SJ/T 3228.3 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第3部分灼燒失量的測定；
——SJ/T 3228.4 電子產(chǎn)品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測定；
——SJ/T 3228.5 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第5部分鐵的測定；
——SJ/T 3228.6 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第6部分銅的測定；
——SJ/T 3228.7 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第7部分鉻的測定；
——SJ/T 3228.8 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第8部分鋁的測定；
——SJ/T 3228.10 電子產(chǎn)品用高純石英砂第10部分鉛的測定。
本部分為第1部分。
本部分按照GB/T 1.1-2009 《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫》給出的規(guī)則編寫。
本部分代替 SJ 3228.1-1989。
本部分與SJ 3228.1-1989相比，主要技術(shù)內(nèi)容變化如下：
a) 增加了引用文件：GB/T 6682《分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法》、GB/T 602《化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的準(zhǔn)備》、SJ/T 10380-2012《工業(yè)用酸洗石英砂》、GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》、GB/T 8946 《塑料編織袋》、GB/T 8947《復(fù)合塑料編織袋》；
b) 修改了產(chǎn)品分級，將原來的二個等級修改為三個等級；
c) 修改了粒度范圍；
d) 雜質(zhì)含量要求中增加了元素鋁、鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳含量項目，刪除了鉛含量、氯含量、灼燒失重，并修改了原有雜質(zhì)元素含量技術(shù)指標(biāo)；
e) 增加了附錄A《石墨爐原子吸收光譜法測定雜質(zhì)元素含量》；
f) 調(diào)整了檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存的相關(guān)要求。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任。本部分由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC 203）提出并歸口。本部分起草單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、東海縣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所。
本部分主要起草人：李運強、程尚栩、許振午、欒振祥、薄雷明、李建德、馮亞彬、管琪。本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：——SJ 3228.1-1989。
1 范圍
本部分規(guī)定了電子產(chǎn)品用高純石英砂的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等。
本部分適用于電子產(chǎn)品用高純石英砂，可用于制造半導(dǎo)體石英器件的管、棒、塊、板、片以及坩堝等器件。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 8946 塑料編織袋
GB/T 8947 復(fù)合塑料編織袋
GB/T 32650 電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素
SJ/T 3328.4 電子產(chǎn)品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測定
SJ/T 3328.5 電子產(chǎn)品用高純石英砂第5部分鐵的測定
SJ/T 3328.6 電子產(chǎn)品用高純石英砂第6部分銅的測定
SJ/T 3328.7 電子產(chǎn)品用高純石英砂第7部分鉻的測定
SJ/T 3328.8 電子產(chǎn)品用高純石英砂第8部分鋁的測定
SJ/T 3328.10 電子產(chǎn)品用高純石英砂第10部分鉛的測定
SJ/T 10380工業(yè)用酸洗石英砂
3 技術(shù)要求
3.1 外觀
電子產(chǎn)品用高純石英砂為具有一定透明度的白色顆粒，應(yīng)無異色、肉眼可見的雜質(zhì)。
3.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量應(yīng)符合表1規(guī)定。
表1 二氧化硅含量
| 項目 | 指標(biāo) | ||
| 一級 | 二級 | 三級 | |
| 二氧化硅 | ≥99.9991% | ≥99.9990% | ≥99.9980% |
3.3 粒度
粒徑應(yīng)在70μm~350μm范圍內(nèi)。
3.4 雜質(zhì)元素含量
雜質(zhì)元素含量應(yīng)符合表2規(guī)定。
表2 雜質(zhì)元素含量
| 雜質(zhì)元素 | 允許含量 | ||
| 一級 | 二級 | 三級 | |
| 鋁（Al） | ≤8.00 | ≤8.00 | ≤16.00 |
| 鈣（Ca） | ≤0.50 | ≤0.60 | ≤0.80 |
| 鐵（Fe） | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.30 |
| 鈉（Na） | ≤0.10 | ≤0.60 | ≤0.90 |
| 鉀（K） | ≤0.10 | ≤0.50 | ≤0.60 |
| 鋰（Li） | ≤0.30 | ≤0.50 | ≤0.90 |
| 鎂（Mg） | ≤0.50 | ≤0.10 | ≤0.20 |
| 鉻（Cr） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 鎳（Ni） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 硼（B） | ≤0.04 | ≤0.06 | ≤0.08 |
| 錳（Mn） | ≤0.05 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 銅（Cu） | ≤0.02 | ≤0.03 | ≤0.05 |
4 檢驗方法
4.1 外觀
光照度不低于300Lx，距離試樣0.5m處目視檢查電子工業(yè)用高純石英砂的外觀。
4.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量按照SJ/T 3228.4的規(guī)定進行測定。
4.3 粒度
粒度按照SJ/T 10380的規(guī)定進行測定。
4.4 雜質(zhì)元素含量
4.4.1 鐵元素含量的測定按照SJ/T 3228.5中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.5 中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.2 銅元素含量的測定按照SJ/T 3328.6 中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3328.6中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.3 鉻元素含量的測定按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.4 鋁元素含量的測定按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.5 鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鎳、硼、錳元素含量的測定按照附錄A或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照附錄A進行。
5 檢驗規(guī)則
5.1 檢驗分類
電子工業(yè)用高純石英砂的檢驗分為型式檢驗和質(zhì)量一致性檢驗。
5.2 型式檢驗
5.2.1 通則
出現(xiàn)下列情況之一時應(yīng)進行型式檢驗：
a) 新產(chǎn)品或者產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；
b) 正式生產(chǎn)后，如原材料、工藝或設(shè)備有較大改變、可能影響產(chǎn)品性能時；
c) 停產(chǎn)6個月以上恢復(fù)生產(chǎn)時；
d) 出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時；
e) 國家質(zhì)量監(jiān)督機構(gòu)提出進行型式檢驗要求時；
f) 有關(guān)部門或用戶提出進行型式檢驗的要求時。
5.2.2 檢驗樣本
型式檢驗的樣本在產(chǎn)品中隨機抽取。
5.2.3 檢驗項目
型式檢驗項目包括外觀、粒度、二氧化硅含量以及雜質(zhì)元素含量。
5.2.4 合格判定
所有檢驗項目中若有一項檢驗結(jié)果不合格，則不予批準(zhǔn)型式檢驗合格。
5.3 質(zhì)量一致性檢驗筑
5.3.1 通則
質(zhì)量一致性檢驗為逐批檢驗。
5.3.2 組批
以相同原料、相同工藝連續(xù)生產(chǎn)并一次提交的產(chǎn)品構(gòu)成一個檢驗批，最大批量不超20000kg。
5.3.3 抽樣
每批產(chǎn)品應(yīng)在總包裝單元的5%中抽樣，抽樣包裝單元數(shù)量應(yīng)不小于10個，當(dāng)批量小于10個包裝單元時應(yīng)逐包抽樣。取樣適量，混勻充分，用四分法縮分，縮分再2kg，裝入潔凈容器內(nèi)。經(jīng)縮分的樣品，在100℃的干燥箱中干燥30min，置于磨口瓶中保存。
5.3.4 檢驗項目
質(zhì)量一致性檢驗項目包括外觀、粒度、雜質(zhì)元素含量。
5.4 合格判定
所有檢驗項目中，若有一項檢驗結(jié)果不合格，則判該批產(chǎn)晶不合格。不合格產(chǎn)品由供需雙方協(xié)商處理。
6 標(biāo)志、包裝、運輸和貯存
6.1 標(biāo)志
產(chǎn)品包裝上應(yīng)有牢固清晰的標(biāo)志，內(nèi)容至少應(yīng)包括：
a) 產(chǎn)品名稱；
b) 等級規(guī)格；
c) 凈質(zhì)量；
d) 標(biāo)準(zhǔn)號；
e) 生產(chǎn)單位；
f) 廠址；
g) 生產(chǎn)日期；
h) 批號。
6.2 包裝
6.2.1 產(chǎn)品應(yīng)密封包裝，封口應(yīng)結(jié)實，防止污染。
6.2.2 應(yīng)采用2層包裝，內(nèi)層為塑料薄膜袋，外層為塑料編織袋，塑料編織袋應(yīng)符合GB/T 8946、GB/T8947的規(guī)定。
6.2.3 若用戶對產(chǎn)品包裝有特殊要求，應(yīng)由供需雙方協(xié)商解決。
6.3 運輸
產(chǎn)品運輸過程中，不應(yīng)與污染物及其它易損物品混裝，不應(yīng)有劇烈的振動或撞擊，應(yīng)有防雨、防曬措施。
6.4 貯存
產(chǎn)品應(yīng)在空氣流通、無粉塵的倉庫內(nèi)儲存，防止曝曬、雨淋、污染、潮濕。
